千歳市 次世代半導体の国産化を目指す「Rapidus（ラピダス）」 半導体製造に欠かせない「ＥＵＶ露光装置」が新千歳空港に到着 １台で数百億円！

－Rapidus（ラピダス）－
　国内主要企業が出資し次世代半導体の国産化を目指す新会社「Rapidus（ラピダス）」が、北海道千歳市の「千歳美々ワールド（千歳市工業団地）」に最初の工場を建設する事が決まりました。

　国内主要企業が、人工知能（AI）、スパコンなどに使う次世代半導体の国産化を目指す新会社「Rapidus（ラピダス）」を設立しました。出資企業は「キオクシア、ソニーグループ、ソフトバンク、デンソー、トヨタ自動車、ＮＥＣ、ＮＴＴ、三菱ＵＦＪ銀行」の計8社です。

　国の支援のもと、先端半導体の国産化を目指す「Rapidus（ラピダス）」は、北海道千歳市に建設する新工場の起工式を2023年9月1日に執り行いました。

　引用資料　Rapidus（2023/09/01）
　Rapidus、IIM-１の起工式を開催

　約６５ｈａでスタートしますが、最終的には、約１００ｈａの敷地に３棟～４棟の工場を建設し、研究開発を含めて５兆円規模の投資が見込まれています。

● ＥＵＶ露光装置が新千歳空港に到着！
　先端半導体の国産化を目指す「Rapidus（ラピダス）」の半導体製造に欠かせない「ＥＵＶ露光装置」を載せた貨物機の第１便が、2024年12月14日午後に、オランダから新千歳空港に到着しました。12月中に複数の大型貨物機に分けて新千歳空港に運ばれてきます。

　ＮＨＫ（2024/12/14）
　ラピダスの先端半導体製造に不可欠なEUV露光装置 新千歳に

　「ＥＵＶ露光装置」は最先端半導体の量産に欠かせず、「Rapidus（ラピダス）」は将来、複数台の稼働を想定しています。「ＥＵＶ露光装置」を製造できるのは、世界でオランダの「ASMLホールディング」の１社のみです。

　「ASMLホールディング」は、価格を公表していませんが、「ＥＵＶ露光装置」の価格は１台当たり200億～300億円と言われています。その中でも最先端の「高ＮＡ（開口数）ＥＵＶ露光装置」は、特に高価で「インテル」に納入した初号機は500億円に近いと言われています。



Rapidus IIM-1建設計画
　手前が最初に建設される「Rapidus IIM-1」です。計画名が「Rapidus IIM-1建設計画」、建築主が「Rapidus」、設計者が「鹿島建設」、施工者が「鹿島建設」、工期は、2023年9月～2025年1月（予定）となっています。ちなみに「IIM」は「イーム」と読みます。

　鹿島建設（2023/04/25）
　Rapidus IIM-1建設計画の設計施工者に選定

● 免震構造・屋上緑化
　半導体工場は振動に対して非常にセンシティブ（敏感）な機器がたくさんあり、大きな揺れがあったときに大きな被害が及ばないように、地震対策として先進的な「免震構造」を採用します。屋上は緑化され、環境保護や省エネに配慮した施設となります。



「配置図」です。



「計画地」です。



「Rapidus IIM-1」の建設現場です。「新千歳空港」に近いのは大きなメリットです（Ｇｏｏｇｌｅマップの衛星写真を引用）。